该模块是真空系统的气体流量控制执行器件，采用快速响应型电磁比例阀，配置模拟控制电路，能够对气路通导进行快速控制。可配合PID算法仪表和压力或流量监测，实现对真空压力或流量的闭环精确控制。
主要参数：
型号
GFC-MT01
流量控制阀
电磁比例阀
阀通导
0-1，至250SLM
阀接口
标准双卡套
阀漏率
单点＜1*10-8 SCCS He
工作压差
0.10～0.50 MPa
全关至全关响应时间
≤1 sec
模块供电
DC24V/4W
外部控制信号
0-5V,0-10V,4-20mA
